檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Shun-Feng Su".ecommittee (精準) and cadvisor.raw="郭鴻飛"
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以光點陣列掃描 (Point Array Scanning) 成像的數位微影系統,使用數位微反射鏡裝置(Digital Micromirror Device, DMD)作為產生光點陣列的元件,透過控…
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在半導體製程中,先進封裝(Advanced Package, AP)被視為持續摩爾定律的辦法之一,使用不同功能之晶片將其進行堆疊,並使用先進封裝可以得到較小的元件尺寸,本文將研究探討數位微影曝光系統…